性能优势：

   下照式设计：可以快速方便地定位对焦样品。

   无损变焦检测:可对各种异形凹槽进行无损检测，凹槽深度范围0-90mm。

   微聚焦射线装置：可检测面积小于0.002mm2的样品，可测试各微小的部件。

   高效率的接收器：即使测试0.01mm2以下的样品，几秒钟也能达到稳定性。

   精密微型滑轨：快速精准定位样品。

   EFP先进算法软件：多层多元素，甚至有同种元素在不同层也难不倒EFP算法软件。

仪器规格：

  外形尺寸 ：550 mm x 480mm x 470 mm （长x宽x高）

  样品仓尺寸 ：500mm×360 mm ×215mm （长x宽x高）

  仪器重量 ：55kg

  供电电源 ：交流220±5V

  最大功率 ：330W

  环境温度：15℃-30℃

  环境相对湿度：<70%

技术参数：